光刻机技术的难点在于其高端化学材料的制造和精密程度的要求。中国有一些企业能够制造光刻机，其中上海微电子装备有限公司是一家致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务的企业，其产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域...